Нажмите на изображение, чтобы посмотреть в полный размер
В фоторезистической распылении традиционное высокоскоростное спиновое покрытие не может обеспечить равномерное покрытие морфологии глубоких отверстий или высокое соотношение сторон.
Ультразвуковая настольная система напыления с однородным фоторезистичным пленочно-пленочной пленкой полупроводниковой стала полноценным решением.
По сравнению с традиционным спиновым покрытием, ультразвуковое напыляемое фоторезистическое покрытие имеет преимущества в нанесении более однородного покрытия, особенно в канавке с высоким соотношением сторон и V-образной структуре канавки, центробежное спиновое покрытие не может наносить равномерное покрытие вдоль боковой стенки с образованием пленки, и в нижней части полости не слишком много фоторезиста. Доказано, что прямое напыление ультразвуковой технологией является надежным и эффективным методом нанесения фоторезиста на 3D-микроструктуру, тем самым уменьшая отказ оборудования, вызванный чрезмерным воздействием металла на резисцидное покрытие.
Форма:
Вся машина состоит из ультразвукового распыляющего сопла, специального приводного источника питания, трехосевой сервосистемы рычажного механизма, интеллектуальной операционной системы, системы подачи жидкости, устройства формирования низкоскоростного воздуха, оболочки и коробки и т. Д.
Преимущества:
Высокое равномерное покрытие пленки для различных профилей поверхности.
Паз с высоким соотношением сторон может быть покрыт высокой однородностью.
Не засоряющий спрей.
Тонкие одномокмикронные слои могут быть нанесены с высокой однородностью.
Проверенный повторяемый процесс распыления.
Высокая однородность: ультразвуковое напыление - это высокоэффективная промышленная технология прецизионного напыления, используемая для высокой однородности субмикронного и нанопленочного покрытия.
Экономия материалов и защита окружающей среды: поскольку распыление низкого давления нелегко контролировать, а жидкость падает на подложку вместо отскока от подложки, это может гарантировать, что количество чрезмерного распыления может быть значительно уменьшено, и большое количество материала может быть сохранено, а выбросы в окружающую среду могут быть уменьшены. Коэффициент использования покрытия при ультразвуковом напылении более чем в 4 раза превышает коэффициент традиционного напыления двух жидкостей.
http://ru.hsdisperser.com/